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德国ADL磁控电源

产品详情

德国ADL电源


公司介绍:

    ADL公司于1992年成立于德国Riedstadt,是镀膜行业著名的溅射电源开发与制造商其产品广泛应用于平板显示、玻璃装饰镀膜、太阳能、工业镀膜、光学镀膜、工具镀膜、微电子等行业。

     ADL公司以超高的技术创新理念,生产的电源产品以高质量、高可靠性、长寿命著称。所生产的电源产品严格遵循德国制造理念,严格把关,100%德国制造。

     ADL公司在全球已经售出超过30,000台以上电源, 在中国大陆使用量超过了6000台。最早进入中国市场由搭配Applied Materials的镀膜设备进入。

   

直流电源系列:

HX系列(15kW~30kW)、GSW 系列(10kW~30kW)、GX(5kW~15kW) 系列GS (0.5kW~15kW)系列、lon Source电源系列等


                       GS系列                                                                      GX系列



                         GXW系列                                                            HX系列


ADL有不同型号的直流电源系列,适应不同的工艺要求。从0.5kW-240kW,可做为偏压电源、可搭配中频脉冲器


中频电源系列:

单极脉冲器系列(SD30、SD 150、SD300、SD151、SD301、RD300)




双极脉冲器系列(SB150、SB300)

中频电源组合系列:HX+SB



   

通过搭配脉冲器,可组合成为中频电源或脉冲电源。功率10kW ~ 240kW。





产品特点:

  • 基本模块从0.5 KW 到30KW, 可并联多个模块输出所需要的功率。
  • 输出回路内不会累积打弧能量, 大幅降低发生打弧的机率。
  • 动态打弧抑制电路设计(Dynamic Arc Killer Circuit), 无需复杂的软件设定, 可自动清除打弧(Arc)。
  • 自动斜率输出模式(Auto Ramp Mode), 大幅降低发生打弧。90% 的功率转换效率, 可有效省电10% 以上。
  • 短路自我保护设计、可避免因负载短路而造成机器损坏的可能性。
  • 通讯介面/ 电源输出/ 输入接头统一, 不同型号的电源可互相支持,大幅降低备品需求。
  • 可靠的冷却水路设计,电磁阀设计避免凝结水而损坏电源。
  • 中频发生器与直流电源可任意分开,中频发生器可就近安装,最大限度减少高频的影响。
  • 100% 德国制造, 年损坏率小于1%。



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