圆柱旋转阴极

技术参数：

特点：

端头部分：

•            端头内部绝缘处理，外露件不导电；

•            端头绝缘采用进口PEEK材质，保证端头强度与绝缘性能；

•            端头采用大电流电刷，保证阴极大电流稳定工作；

•            接线电缆直接与电刷连接，提高导电效果；

•            端头密封轴喷涂超高硬度涂层，超长密封寿命；

•            进口定制油封，大大延长油封寿命；

磁棒部分：

•            磁钢自身多重涂层防护；

•            磁钢与水隔离，根源上杜绝失效风险；

•            高靶材利用率：75%-85%；

•            多重检测，磁场均匀性优于+/-2%；

•            多种均匀性调节方式；

•            溅射方向在线可调；

•            磁场发散角小：更多靶材沉积到基片上。

功能：

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积，生产装饰、光学及各类功能膜层

应用范围：

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜

安装方式：

                背包式                                                   插入式

             端头在真空腔内，结构紧凑，磁路效率高                                        端头在大气侧，维护便捷

图片、细节图：

磁棒实拍图：