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产品功能：
平面阴极的阳极
旋转阴极与阳极磁场闭合+偏压
闭合磁场+电场，捕捉电子
束缚电子轨迹，提升离化率
提升膜层致密性+降低内应力
有效降低基片温升
直流脉冲电源，提升稳定性
产品特点：
闭合磁场，有效捕捉电子
大流量设计，匹配快速沉积
提升膜层致密性
温升降低优于30%
采用阳极棒的结构，可使得基片温升降低超过30%，从而提升镀膜质量，降低生产损耗；
有效避免基片热变形，适配精密半导体 / 光学镀膜；
