考夫曼离子源

产品特点：

• 栅网核心：双钼栅变孔结构，大离子流 + 高刻蚀均匀性；多次高温定型，长期工作不变形，工艺超稳

• 离子源优势：多极会切磁场设计，大无场区 + 低功耗；可追踪中和电流，充分中和，绝缘器件刻蚀不积电

• 智能电源：全数字自动电源，手动 / 485 远程双控制；束流闭环控制，输出稳定不波动

• 便捷操作：3 组工艺参数一键存储启动，换产超高效；液晶屏实时显故障，排查问题零难度

• 安全可靠：过压过流双重保护，长期短路不烧机，7×24 小时连续运行无压力

辅助离子源规格：6cm，8cm，12cm，16cm，20cm

溅射离子源规格：5cm，8cm，16cm

刻蚀离子源规格：8cm，15cm，20cm

其他规格请联系我司