平面条形阴极

平面条形阴极

基本参数：

特点：

1.高靶材利用率>40%，大大降低靶材费用
2.宽靶面刻蚀，减少打火风险
3.磁铁与水隔离，延长使用寿命

4.高场强/高利用率/闭合磁场

5.膜厚均匀性高，有效均匀区宽

6.灵活的气路分布，方便调节膜厚均匀性

功能：

用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积，生产装饰、光学及各类功能膜层

应用领域：

真空镀膜领域生产装饰、光学和各类功能膜

安装方式：

以下溅射后靶材效果，全为我厂测试后实拍

本产品刻蚀图：

产品实拍图：

部分案例：

         CPL100-E-1400（射频平面阴极）                                      CPL70-I-1050（三平面阴极）

        CPL120-E-700（带线圈平面阴极）                            CPL100-I-1750（强磁侧装阴极）

     CPL120-E-750（靶基距在线调节平面阴极）            CPL120-I-1850（强磁内装阴极）